半導体冷却および処理用のオイルフリーヘリウムコンプレッサー

オイルフリー設計：完全にオイルを使用せず、空冷式圧縮により、システムへの汚染をゼロに。

高効率バルブ：最適化されたシール面と調整されたバネにより、最高の圧縮効率を実現。

堅牢な構造：高強度の球状黒鉛鋳鉄製のシリンダーと鍛造鋼製のクランクシャフトを採用。

幅広い用途：SF6、N2、O2、H2、He、およびその他の乾燥した非爆発性ガスに対応。

柔軟な構成：モジュール設計により、単動/複動式、および多段圧縮のオプションを選択可能。

自己潤滑リング：厚肉のPTFE製ピストンリングにより、耐摩耗性と動作サイクルを向上。

24時間365日の技術サポート：全国的なサービスネットワークとオンラインサポートにより、迅速な対応を実現。