テルクリーントラック™ リシウス半導体コーティングおよび開発システム 半導体トラックシステム

ゼラチン化装置、エッチング装置、コーティングおよび現像システム（または均一コーティング・現像システム）、薄膜成膜装置、イオン注入装置、 酸化/拡散/アニール装置（熱処理装置としても知られています）。

パターン転写：プロジェクターのように、マスク上の回路パターンが、光を通してフォトレジストでコーティングされたシリコンウェーハの表面に投影されます。 微細加工：紫外線または極端紫外線を使用して、フォトレジストが化学反応を起こし、現像後、微細なナノスケールのラインがウェーハにエッチングされます。

ゼラチン化装置は、光学投影の原理を利用して、回路パターンを縮小し、フォトレジストでコーティングされたシリコンウェーハに露光します。これは、チップ製造の中核となる装置であり、その本質は、光源、マスク、そして精密な光学システムを使用して、ナノスケールのグラフィックを正確に転写することです。

ディスプレイおよびセンサー：液晶ディスプレイ（LCD/OLED）、タッチセンサー、MEMS（微小電気機械システム）の電極製造。

ゼラチン化装置の精度は、光源の波長と光学システムの数値開口数によって制限されます。さらに、EUV（極端紫外線）光源は、錫の微粒子をレーザーで照射してプラズマを生成する必要があり、これは非常に困難な技術的課題です。