完全自動精密シリコン混合供給機

本システムは、特定のプロセス要件に応じて、作業軸に対して2種類の負荷クラスオプションを提供しています。さらに、作業軸の数を2軸から4軸まで柔軟に構成できるため、幅広いプロセスフローや生産性ニーズに対応できます。

本装置は、単一のプラットフォーム上に2つの並列処理ステーションを統合しています。この並列動作設計により、2つの基板または治具を同時に処理できるため、単一ステーションのシステムと比較して、床面積を増やさずに生産性を効果的に2倍にすることができます。

はい、本システムには、センサーからのフィードバックや検査結果に基づいて、プロセスパラメータをリアルタイムで自動的に調整する、適応型インテリジェント制御システムが搭載されています。これにより、プロセスの安定性を維持し、手動操作を削減し、全体的な歩留まりを向上させることができます。