MEMSデバイスの動的特性評価用光学振動センサー

非接触で振動、変位、周波数を測定でき、超音波加工、精密構造、半導体装置、大学での振動実験などに適しています。精度：ピコメートル単位の変位分解能、DC～10MHzの周波数範囲、小型（85x26x54mm）、狭いスペースにも設置可能です。

KVシリーズは、Kathmatic社が独自開発したレーザー干渉型振動計であり、非接触型の精密振動検出装置です。主に、対象物の振動変位、速度、加速度、周波数を測定するために使用され、モード解析、故障診断、共振試験、振動追跡、NVH（騒音、振動、ひずみ）試験など、幅広い分野で使用されています。

機械加工、自動車部品、3Cエレクトロニクス、MEMS/半導体、超音波機器、風力発電、航空宇宙、大学の研究など、幅広い分野に適しています。産業における品質検査、研究開発実験、機器の運用・保守など、あらゆるシーンで活用できます。

センサーを貼り付ける必要がなく、追加の質量による影響もありません。また、測定対象物を傷つける心配もありません。狭いスペース、高温環境、高速動作、柔軟な部品の測定も可能です。応答速度が速く、広い周波数帯域に対応し、微小な高周波振動を捉え、実際の使用環境に近い測定データを得ることができます。

KVには、標準モデル、高周波モデル、マルチチャンネルモデルがあります。一般的な機械振動には基本モデル、超音波/チップの高周波測定には高周波モデル、多点同時測定にはマルチチャンネルモデルを選択してください。