単一ターゲットマグネトロンスパッタリングコーター 内蔵ワンボタンコーティングプログラム

用途：単層または多層の圧電膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜などの作製に使用できます。

特徴：全機器はタッチスクリーンで制御され、内蔵されたワンボタンコーティングプログラムにより、操作が簡単で、研究室での薄膜作製に最適な機器です。

利点：マグネトロンターゲットには水冷式のサンドイッチ構造が採用されており、冷却水が効果的に熱を放散することで、ターゲット表面の熱集中を防ぎ、マグネトロンコーティングの品質を向上させます。