RIE機械-RF反応性イオンエッチング

カスタマイズ可能な分子ポンプ：オプションとして、620 L/s、1300 L/s、または完全なカスタム仕様が選択可能です。

広範なガスチャネル対応：腐食性または毒性ガスを除く、カスタムガスタイプまで、最大9チャネルに対応します。

調整可能なRF電力：自動マッチング機能を備え、RF電力は0～300Wから1000Wの範囲で調整可能です。

カスタマイズ可能な温度制御：サンプルおよびキャビティ壁の温度制御オプションがあり、カスタム範囲も設定可能です。

多様なエッチング材料に対応：シリコン系、III-V系、IV-IV系、II-VI系、磁性体、金属、および有機材料など、幅広い材料に対応します。

1年間の保証：本製品には、1年間の包括的な保証が適用されます。

ISO9001およびCE認証取得：製品は、国際的な品質および安全基準を満たしています。

設置とトレーニング：包括的なアフターサービスとして、現地での設置およびトレーニングを提供します。