半導体ホットゾーン用均一温度分布グラファイトヒーター部品

長期間の使用や、高温サイクルを繰り返す使用により、温度の均一性がわずかに低下する可能性があります。これは、主にグラファイトの微細構造の変化、ヒーター素子の経年劣化、またはセンサーの誤差などが原因です。6ヶ月ごとに、赤外線サーマルイメージャーまたは多点温度プローブを使用して点検することをお勧めします。

通常の使用条件下（真空環境または保護雰囲気下、および定格温度範囲内）では、連続運転寿命は10,000時間を超えることがあります。使用寿命に影響を与える主な要因は以下の通りです。過剰な温度での運転（保護雰囲気下で3,000℃を超える、または真空中で2,300℃を超える）、頻繁で急激な温度変化、炉内に空気が入ることで発生する酸化、および設置時の機械的衝撃や不均一な応力などです。

当社は、カスタム製品を全面的にサポートしています。チューブ型、プレート型、スプリットスロット型など、さまざまな構造の製品や、炉チャンバーの寸法、加熱電力、温度均一性の要件に基づいて、あらゆるサイズの製品（直径：10mm～2000mm、長さ：50mm～5000mm）をカスタマイズできます。カスタマイズをご希望の場合は、詳細な図面または動作パラメータをご提供ください。サンプル品の納期は約15日、大量注文の場合は約60日です。これらの納期は、状況によって変動する場合があります。

湿気にさらされると、性能が著しく低下し、加熱中にひび割れや破損が発生する可能性があります。保管に関する要件は以下の通りです。倉庫は乾燥しており、換気が良好である必要があります。温度は5～25℃、相対湿度は50～60%に保ってください。製品は、レンガ、土、またはコンクリートの表面との直接的な接触を避けるため、木製の棚の上に少なくとも20cmの高さに置いてください。