半導体ウェーハ搬送アーム用高精度リニアガイド空気圧部品

シリンダー：ロッドレス設計により、軸方向のスペースを節約し、オーバーハングなしで800mmのストロークを狭いスペースにも設置可能です。

シリンダー：動作圧力は0.2～0.7MPa（耐圧1.2MPa）で、精密な作業から重量物の取り扱いまで、幅広い用途に対応します。

シリンダー：ボア径（10～25mm）とストローク（50～800mm）のバリエーションが豊富で、お客様のカスタム要件に迅速に対応できます。

シリンダー：双動式駆動による速度範囲は50～400mm/sで、高頻度のピックアンドプレースサイクルにも適しています。

シリンダー：一体型のセンサーレールにより、CMSH/DMSHセンサーを別途ブラケットなしで取り付け、位置検出が可能です。

シリンダー：オプションでオイルダンパーを搭載することで、重量物や高速動作時のストローク終端時の衝撃を緩和し、加工物を保護します。

シリンダー：希土類磁石により、25mmボア径、0.7MPaの圧力で500N以上の保持力を実現し、高速動作時でも部品の分離を防ぎます。

シリンダー：一体型のリニアガイドにより、スライダの回転を防止し、組み立て作業における高精度な直線運動を実現します。

シリンダー：スライドテーブルは、上部/側面からの両方向からのロードに対応し、本体はどちらの向きでも取り付け可能で、治具のレイアウトを簡素化します。

シリンダー：絶縁バンドがスライドとシリンダー本体の隙間を密閉し、粉塵の侵入を防ぎます。