カスタム円形光学スケール用回折格子ガラスコードディスク、回転位置測定用インクリメンタルグレーティング

カスタマイズ可能なパラメータ：格子周期とエッチング幅は、設計要件に応じて完全にカスタマイズ可能です。

産業レベルの耐久性：高温焼結、放射線、および経年劣化に耐え、安定した長期的な動作を実現します。

柔軟な光学特性：特定の光源の波長に合わせて、格子ピッチとデューティサイクルを微調整できます。

試作支援：少量生産の試作、パイロット生産、および量産をサポートします。

多様なエッチングオプション：深部シリコンエッチング、ICPエッチング、RIEエッチング、およびウェットエッチングなど、様々な材料層に対応しています。

包括的な測定機能：SEM（走査型電子顕微鏡）、EDS（エネルギー分散型X線分光分析装置）、およびステッププロファイラーを搭載し、正確なサンプル分析が可能です。