半導体ウエハ処理ラインのターンキーソリューション

カスタムウェハー厚さ：ウェハーの厚さは、特定の製造要件に合わせて完全にカスタマイズ可能です。

1年間の保証：機械的な欠陥や性能に関する問題を1年間保証いたします。

全自動運転：全自動仕様により、高い効率と安定した処理結果を実現します。

電動駆動方式：電動駆動システムにより、信頼性の高い電力供給と正確な制御を実現します。

380V 電圧仕様：産業用半導体施設に適した、標準的な380V電圧構成です。

完全なターンキーソリューション：コーティング、洗浄、エッチング、温度制御モジュールなど、統合されたシステムを提供します。

シリコンウェハー対応：最先端の半導体製造ラインで使用されるシリコンウェハーの処理に特化して設計されています。

柔軟な納期オプション：オフシーズンでは1～3ヶ月、ピークシーズンでは3～6ヶ月の納期で、お客様の生産スケジュールに合わせた納品が可能です。